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PT-320
PT-320
综合型高精度半自动探针台，满足多样化的测试需求
全新一代高精度定位平台（定位精度±2μm）
开放式面板设计，搭配不同组件，实现更加丰富的测试功能
自动对针功能，更适用于集成电路多芯同测和倒扣扎针的测试需求
常高温、高温、恒温等CHUCK可选
抽测功能，可实现晶圆片上不等距步进，任意点测试
具有多Bin分类显示Mapping功能，任意分析晶圆片参数分布情况
高精密光学模组，结合最新图像软件算法，实现探针自动精确定位，安全可靠全自动测试；
CHUCK模块化设计，选配、更换更加便捷；

应用领域

4-8英寸分立器件、功率器件、集成电路、射频器件、光芯片等晶圆的半自动探针测试

测试应用
WAT测试
光芯片测试
高低温测试
射频测试
高压测试
大电流测试
低漏电测试
低阻测试
主要功能
针痕检测功能
自动清针功能
MAP图实时显示、存储产品
自动对针功能
自动晶圆对准功能
晶圆厚度自动检测功能
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